HF气相刻蚀设备采购项目【重新招标】招标公告

HF气相刻蚀设备采购项目国际招标

(重新招标)

日期：2025年6月5日

招标编号：0618-254TC259Q05M（GGPT2402001）

项目名称：HF气相刻蚀设备采购项目（重新招标）

受粤港澳大湾区（广东）量子科学中心委托对下列产品及服务进行国际公开招标，于2025年6月5日发布招标公告。本次招标采用公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件
   1. 项目概况：购置HF气相刻蚀设备采购1套。
   2. 资金到位或资金来源落实情况：资金已落实
   3. 项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件
2. 招标内容

2.1项目实施地点：广东省深圳市

2.2招标产品列表：

序号	产品名称	主要技术参数	数量	交货时间
1	HF气相刻蚀设备采购	*5.4.1催化剂：水作催化剂，没有添加任何其他催化剂。 *5.4.2释放良率：无黏附的干法释放，Mems结构100%完全释放。 *5.4.3刻蚀速率：悬臂结构大于0.3 um/min； 空白暴露氧化硅大于0.1um/min。 *5.4.4片内均匀性≤5% 1。 *5.4.5片间均匀性≤5%1。 *5.4.6选择比：对PECVD氮化硅30:1。	1套	合同生效后43周内

2.3简要技术规格：具体详见第八章“货物需求一览表及技术规格”。

3. 投标人资格要求

3.1投标人应具备的资格或业绩：详见投标资料表。

3.2是否接受联合体投标：详见投标资料表。

3.3未在深圳分公司登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。

3.4未在本项目投标截止时间前，在中国国际招标网（www.chinabidding.com）成功注册的投标人，不得参加投标。

4. 招标文件的领购

4.1招标文件领购开始时间：2025年6月5日（节假日除外）上午9时00分至11时30分，下午13时30分至17时00分（北京时间）

4.2招标文件领购结束时间：2025年6月12日17时00分（北京时间）

4.3招标文件领购地点：本项目采用线上发售招标文件方式，平台

4.4招标文件售价：本招标文件每包售价为800元人民币或110美元，售后不退。

本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请注册本网会员并成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：陈经理
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