场发射扫描电子显微镜-预公告

场发射扫描电子显微镜预公告1.采购项目：场发射扫描电子显微镜（FESEM）1台关键技术要求：1）分辨率：（1）优于1.0nm@30keV。（2）优于0.5nm@15keV。（3）优于1.0nm@1keV。2）放大倍数范围：12X～1,000,000X，连续可调。3）样品室尺寸：内部直径≥300mm，高度≥250mm。4）样品台移动范围：x=y≥120mm，z轴≥40mm。3.有意向
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