甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目 - 国际招标公告(1)

受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年4月22日在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购深硅刻蚀机1套、湿法厚膜沉积设备1套。

资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。

    项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。

2. 招标内容：

招标项目编号：0762-2441CBNB2010  

招标项目名称：甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目

项目实施地点：中国浙江

招标产品列表（主要设备）：

序号	货物名称	数量	简要技术规格	备注
1	深硅刻蚀机	1套	真空系统：腔室极限真空≤0.1mTorr，腔室漏气率≤2mTorr/min，控压范围至少包括5mTorr-500mTorr，控压精度≤±0.1mTorr。	/
2	湿法厚膜沉积设备	1套	预处理模块：配置预润湿功能，电镀前对晶圆表面及TSV深孔等进行有效润湿并去除晶圆表面颗粒等污染物，真空度≤40torr，漏率＜40torr/min。	/

3. 投标人资格要求

3.1特定资格条件：

3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书。

3.2本项目不接受联合体投标。

3.3未领购招标文件不可以参加投标。

4. 招标文件的获取

招标文件领购开始时间：2024年4月22日

招标文件领购结束时间：2024年4月28日

招标文件领购地点：（宁波鄞州区天童南路666号中基大厦19楼前台，联系人：李小姐，联系电话：0574-88090098，电子邮箱：719126619@qq.com）；或在线购买，购买地址链接：https://dwz.cn/BzVsB93Q（此链接仅限于人民币支付）

招标文件售价：每标段售价500元人民币或80美元，售后不退

本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请注册本网会员并成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：陈经理
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