立式多级联排CVD设备-特气原料供应及输出系统项目公告

立式多级联排CVD设备-特气原料供应及输出系统 招标公告

（请投标商特别注意：本项目为全流程电子化招标，招标文件和CA数字认证证书请于购买，CA数字认证证书请务必购买，否则无法进行线上开标。具体请参看发布的相关指南，谢谢！）

1. 招标条件

本招标项目 立式多级联排CVD设备-特气原料供应及输出系统 招标人为 中国航发北京航空材料研究院 ，招标项目资金已落实。该项目已具备招标条件，现对 立式多级联排CVD设备-特气原料供应及输出系统 进行公开招标。

2. 项目概况与招标范围

招标编号：0730-2411010076

设备名称：立式多级联排CVD设备-特气原料供应及输出系统

数量：壹套

项目概况与招标范围： 立式多级联排CVD设备-特气原料供应及输出系统 壹套

3. 投标人简要技术及资格要求

3.1 投标人简要技术及资格要求：投标人资质条件、能力、信誉:（1）资质要求（对制造商资质有要求的，应分别列出并注明）：/ （2）财务要求：提供2022年经审计的财务报表（至少包括审计报告、资产负债表、现金流量表、利润表），投标人的成立时间少于规定年份的，应提供成立以来的财务状况表。 （3）投标人业绩：/ （4）信誉要求：/ （5）其他要求：a.设备采用国际同行业中先进设计思想，具备自动化智能化功能为一体的成熟的设计和制造技术，具有优良的品质和可靠性，具有良好的操作性和方便的维修性以及安全性，采用的技术必须符合相应的国际标准和中国国家标准；b.供应商必须获得GB/T9001或ISO9001质量体系认证、压力管道（GC2）设计及施工资质，并在投标文件中提供证书复印件；c.设备设计制造应符合ISO9001国家标准。设备所有零部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（SI）标准。 关键技术指标 （1）设备具有四个料仓，存储一甲基三氯硅烷、一甲基二氯硅烷以及两个备用料仓； （2）三个混料仓，一个混合氢气、氩气、一甲基三氯硅烷、一甲基二氯硅烷；一个混合乙炔、氢气、氩气、丙烷；一个备用混料仓；混料仓具有室温~200℃加热功能，能将气体均匀混合； （3）每个混料仓对应6个输出控制装置，输出的原料配比与混料仓内的配比偏差≤1%； （4）氢气流量计量程20L/min，精度±0.5%；氩气流量计量程5L/min，精度±0.5%；乙炔流量计量程10L/min，精度±0.5%；一甲基三氯硅烷流量计量程100g/min，精度±0.5%；一甲基二氯硅烷流量计量程30g/min，精度±0.5%；

3.2 本次招标不接受联合体投标。

4. 招标文件的获取

4.1 招标文件购买时间： 2024-03-01 09:00至2024-03-08 16:00

4.2 招标文件购买地址：中国航发网上商城 /

4.2 招标文件价格: 标段01：800 元，售后不退。

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