中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目（第六批）层间介质磷硅玻璃化学气相淀积机国际招标公告

受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2018-06-12公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-184022151997/01
招标项目名称:中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目（第六批）层间介质磷硅玻璃化学气相淀积机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	包件1：层间介质磷硅玻璃化学气相淀积机	层间介质磷硅玻璃化学气相淀积机 1台	实现均匀性在3%以内的的磷硅玻璃薄膜淀积
2	包件2：掺杂多晶硅生长反应炉(包含整套的石英或碳化硅配件)	掺杂多晶硅生长反应炉(包含整套的石英或碳化硅配件) 3台	实现掺杂多晶硅层的生长，达到厚度及均匀性指标
3	包件3：1、场氧化层生长反应炉(包含整套的石英或碳化硅配件)2、加强型综合控制器	1、场氧化层生长反应炉(包含整套的石英或碳化硅配件) 2台 2、加强型综合控制器 1台	1、实现场氧化层生长，达到厚度及均匀性指标 2、实现综合控制的功能

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-06-12
招标文件领购结束时间:2018-06-20
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
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联系人：陈经理
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